ข่าวอุตสาหกรรม

เริ่มต้นด้วยงบประมาณอนุภาค ไม่ใช่คลาสฟิลเตอร์

คําถามแรกไม่เคยเป็น "เราใช้ HEPA แบบไหน" มันขึ้นอยู่กับความเข้มข้นของอนุภาคที่ห้องต้องมี ขนาดเท่าไร ขณะที่คนและเครื่องจักรทํางาน ISO 14644-1 กําหนดชั้นอนุภาคที่นับได้ที่ 0.5 μm ขึ้นไป: ISO 5 รองรับ 3,520 ต่อลูกบาศก์เมตร, ISO 6 รองรับ 35,200, ISO 7 รองรับ 352,000, ISO 8 รองรับ 3,520,000 ตัวเลขเหล่านั้นคืองบประมาณ ชั้นกรองอากาศ การไหลของอากาศ การครอบคลุมเพดาน และการเปลี่ยนอากาศ เป็นเพียงวิธีตอบสนองเท่านั้น

งบประมาณที่ใช้ได้ยังคํานึงถึงแหล่งที่มาของอนุภาคด้วย ผู้ปฏิบัติงานสี่คนในสายการบรรจุด้วยมือทํางานไม่เหมือนเครื่องอัดอัตโนมัติที่มีสายพานลําเลียง เราถามสามเรื่อง: อัตราการใช้งานสูงสุด, กระบวนการปล่อยสิ่งใด, และห้องถูกเปิดไปยังพื้นที่ที่สกปรกมากขึ้นในระหว่างการผลิตหรือไม่ ถ้าไม่มีคําตอบเหล่านั้น คําแนะนําใด ๆ ก็เป็นแค่การเดา

นี่คือจุดที่การซื้อเอกสารผิดพลาด พวกเขาระบุประเภทและปริมาณการไหลของอากาศ (ไม่ระบุปริมาณการไหลของอากาศ) ความต้านทานเริ่มต้น ความลึกของโครง ประเภทปะเก็น หรือวิธีการติดตั้ง ฟิลเตอร์มาถึง เส้นโค้งพัดลมไม่ตรงกัน และห้องก็ไม่เคยถึงระดับ

สิ่งที่แต่ละขั้นตอนของ cascade ปกป้องจริง

ๆ

ทุกขั้นตอนของระบบกรองอากาศในห้องปลอดเชื้อมีไว้เพื่อซื้อเวลาสําหรับขั้นตอนถัดไป เมื่อชัดเจนแล้ว ระบบ cascade จะไม่ใช่แค่เส้นต้นทุนอีกต่อไป แต่กลายเป็นกลยุทธ์การบํารุงรักษา

<สไตล์ตาราง="ความกว้าง:100%;การยุบขอบ: การยุบ;margin:24px 0;ขนาดตัวอักษร:15px;"> Stage สไตล์ คลาสทั่วไป สไตล์ < = = = ช่องว่าง: 12px; การจัดแนวข้อความ: ซ้าย; ขอบ: 1px ทึบ #1e33bc;สี: #ffffff;">สิ่งที่ปกป้อง สัญญาณปัญหาแรก pre-filter G3–G4 ขุย, แมลง, ฝุ่นหยาบ ความดันลดลงภายในไม่กี่สัปดาห์ ฟิลเตอร์กลาง F7–F9 ฝุ่นละเอียดและละออง; ขั้นตอนปลายทาง อายุการใช้งานฟิลเตอร์เทอร์มินัลลดลงอย่างรวดเร็ว HEPA H13–H14 The room; MPPS 99.95%–99.995% ตามมาตรฐาน EN 1822 จํานวนการลอยขึ้นเมื่ออากาศไหลคงที่ ULPA U15–U17 ISO 1–4 และกระบวนการที่มีความเสี่ยงสูง การออกนอกเขตงาน ขั้นตอนเคมี คาร์บอนเคลือบ กรด, เบส, อินทรีย์, สารโดป การสูญเสียผลผลิตเมื่อนับอนุภาคที่สะอาด

ข้อผิดพลาดที่พบบ่อยที่สุดคือการถือว่าตัวกรองเทอร์มินัลเป็นแนวป้องกันแรก แผ่นกรอง hepa แบบแบ่งส่วนจะขัดเงาอากาศที่ผ่านการทําความสะอาดแล้ว; มันไม่ได้ถูกออกแบบมาเพื่อดูดซับฝุ่นจากโรงงาน ถ้าถอดขั้นตอนกลางออก เทอร์มินัลจะโหลดได้ภายในหลายเดือน อากาศจะลดลง และห้องก็หลุดออกจากคลาสในขณะที่ตัวกรองยังอยู่ในสถานะ "ใช้งานได้" ตามนามธรรม

เมื่อความลึกของเฟรมและแรงดันตกคร่อมมีความสําคัญมากกว่าความทนทาน ฟิลเตอร์ HEPA แบบไม่แบ่งส่วนสามารถใส่สื่อได้มากขึ้นในพื้นที่เดียวกัน สําหรับกระบวนการ ISO 1–4 หรือกระบวนการที่ไม่ยอมรับการเก็บน้ําหนักต่ํากว่าไมครอน ตัวเลือกจะเปลี่ยนไปใช้ ULPA-grade — จับคู่กับตัวเรือนที่แน่นจริง ๆ เพราะ U15 ในกรอบรั่วเป็นวิธีที่มีค่าใช้จ่ายสูงในการรักษามาตรฐาน ISO 6

Airflow Pattern กําหนดจํานวนฟิลเตอร์ที่คุณต้องการ

ปริมาณตัวกรองเป็นผลลัพธ์ของการออกแบบการไหลของอากาศ ไม่ใช่ข้อมูลนําเข้า ในการไหลแบบทิศทางเดียว อากาศจ่ายจะผ่านเพดานด้วยความเร็วประมาณ 0.3–0.5 เมตรต่อวินาที และออกผ่านพื้นที่มีรูหรือท่อรับอากาศระดับต่ํา ดังนั้นการคลุมเพดานจึงสูง ในห้องที่ไม่ใช่ทิศทางเดียว เป้าหมายจะบรรลุโดยการเจือจาง และตัวแปรการออกแบบจะเปลี่ยนเป็นการเปลี่ยนอากาศต่อชั่วโมง — โดยทั่วไป 30–60 สําหรับ ISO 7 และ 15–25 สําหรับ ISO 8 ในทางปฏิบัติของอุตสาหกรรม

หลายโครงการเป็นแบบไฮบริด: โซน ISO 5 ภายในพื้นหลัง ISO 7 หรือ 8 นั่นมีประสิทธิภาพ แต่เฉพาะเมื่อขอบเขตเป็นจริง — เช่น การแบ่งกั้น ขั้นตอนแรงดัน และการส่งอากาศกลับที่วางไว้เพื่อให้อากาศสกปรกไม่สามารถข้ามโซนวิกฤตได้ เราเคยเห็นห้องไฮบริดเสียเพราะตะแกรงรับกลับวางอยู่ด้านที่สะอาดของผนังกั้น

ที่นี่ยังเป็นที่เปรียบเทียบเทอร์มินัลแบบท่อและ fan filter units FFU เหมาะกับเพดานที่ยืดหยุ่น การควบคุมแบบโซนต่อโซน และการขยายแบบเฟส; กล่อง HEPA แบบมีท่อเหมาะกับการรับอากาศกลางที่มั่นคงและทราบดี ไม่มีแบบไหนดีกว่ากันทั้งหมด — การวาดภาพควรเป็นตัวตัดสิ

น

pressure cascade เป็นคุณสมบัติของระบบ ไม่ใช่สเปคฟิลเตอร์

ห้องปลอดเชื้อได้รับการป้องกันด้วยบันไดที่มีแรงดัน โดยทั่วไปจะอยู่ที่ 10–15 Pa ต่อขั้นบันได ตามแนวปฏิบัติทั่วไป ดังนั้นอากาศจึงรั่วออกด้านนอกแทนที่จะรั่วเข้าด้านใน ตัวกรองไม่ได้สร้างบันไดนั้น พัดลม ทางกลับ ซีลประตู และข้อต่อผนังต่างหาก

ผลที่ตามมาคือพัดลมต้องปรับขนาดให้สามารถส่งฟิลเตอร์จากแบบสะอาดไปสู่แบบสกปรกได้ หากเลือกพัดลมที่จุดที่สภาพสะอาด ห้องจะสูญเสียการไหลเวียนของอากาศก่อนที่ไส้กรองจะถึงความต้านทานการเปลี่ยน เราปรับขนาดที่สภาพสกปรก จากนั้นตรวจสอบว่าสภาพสะอาดไม่ทําให้ห้องมีแรงดันมากเกินไป

เมื่อการอ่านค่าความดันผิดพลาด ตัวกรองมักไม่ใช่ผู้ต้องสงสัยแรก คําสั่งซื้อของเราคือซีลประตู ช่องเปิดผ่าน ช่องผ่านท่อและสายเคเบิล การรั่วไหลของท่อ และเฉพาะการโหลดตัวกรองเท่านั้น การเปลี่ยนขั้วทั้งหมดเพื่อซ่อมปะเก็นที่สึกหรอเป็นค่าใช้จ่ายที่ไม่จําเป็นทั่วไป

อนุภาคเป็นเพียงครึ่งหนึ่งของปัญหา

ห้องหนึ่งอาจผ่านการนับอนุภาคทุกครั้งแล้วยังสูญเสียผลผลิต การปนเปื้อนโมเลกุลในอากาศ — กรด เบส อินทรีย์ที่ควบแน่นได้ สารโดป — จะโจมตีเวเฟอร์ เคลือบ และออปติกลิโธกราฟีในความเข้มข้นที่เครื่องนับอนุภาคไม่สามารถมองเห็นได้ การกรองอนุภาคและเคมีเป็นเส้นขนาน; ไม่มีสิ่งใดทดแทนกันได้

การออกแบบขั้นตอนเคมีเริ่มต้นจากสเปกตรัมของสารปนเปื้อน ไม่ใช่ตัวกรอง ถ่านกัมมันต์ชนิดเดียวกันจะมีพฤติกรรมแตกต่างกันมากขึ้นอยู่กับการแช่ และขั้นตอนที่เลือกใช้ควบคุมกลิ่นไม่ได้หมายความว่าเครื่องมือลิโธกราฟีจะป้องกันแอมโมเนียได้เสมอไป เราจะสอบถามสารเคมีในกระบวนการ คุณภาพอากาศภายนอกที่ไซต์งาน และว่าอากาศหมุนเวียนมีไอระเหยตัวทําละลายหรือไม่ จากนั้นจะจับคู่สื่อและเวลาการพักตามรายการนั้น ตัวกรองถ่านกัมมันต์แบบ honeycomb carbon มักใช้งานได้จริงในกรณีที่ต้องการแรงดันตกคร่อมต่ําและความเร็วหน้าสูง แต่อายุการใช้งานขึ้นอยู่กับภาระที่มันถูกสั่งให้กําจัด

ข้อผิดพลาดห้าประการที่เราพบในเกือบทุกการตรวจสอบ

• เลือกตัวกรองตามปริมาณลมที่กําหนดเท่านั้น โดยไม่ตรวจสอบกราฟความต้านทานกับจุดทํางานจริงของพัดลม
• ไม่เคยบันทึกแรงดันตกคร่อมเริ่มต้น ซึ่งตัดค่าพื้นฐานเดียวที่ทําให้การตัดสินใจเปลี่ยนเป็นเป้าหมาย
• การทดสอบการรั่วซึมจากตัวอย่างขั้วต่อแทนที่จะสแกนทั้งหน้า ซีลกรอบ และรอยต่อตัวเรือน
• เปลี่ยนชิ้นส่วนโดยไม่ทําความสะอาดเพลนัมและเปลี่ยนปะเก็น ทําให้ฟิลเตอร์ใหม่เสียหายตั้งแต่วันแรก
• วางขั้นตอนเคมีไว้ด้านบนของตัวกรองสื่อ ซึ่งมันจะซึมฝุ่นก่อสร้างก่อนที่จะเห็นโมเลกุลที่ซื้อมา

การว่าจ้างและลูปบํารุงรักษา

การว่าจ้างคือเมื่อการออกแบบได้รับการพิสูจน์หรือถูกละทิ้งอย่างเงียบ ๆ ลําดับการสแกนครอบคลุมการทดสอบการสแกนของตัวกรองและซีลที่ติดตั้งทุกชนิดตามมาตรฐาน ISO 14644-3, การปรับสมดุลการไหลของอากาศระหว่างเทอร์มินัล, การตรวจสอบแรงดันที่บานปลายเมื่อประตูปิดและใช้งานตามปกติ, และการนับอนุภาคในจุดที่ตกลงกันไว้ทั้งในสถานะหยุดนิ่งและขณะใช้งาน

หลังจากส่งมอบ แนวโน้มสามอย่างบอกคุณแทบทุกอย่าง: ความดันตกคร่อมต่อขั้นตอน, การไหลของอากาศที่ส่ง และจํานวนที่จุดวิกฤต ชุดนี้มักจะมาถึงที่ความต้านทานเริ่มต้นประมาณสองเท่า หรือเมื่อปริมาณลมลดลงประมาณ 20% — กฎทั่วไปทางวิศวกรรม ไม่ใช่ขีดจํากัดสากล ดังนั้นควรบันทึกไว้ในกระบวนการของห้องโดยบันทึกค่าวันแรกไว้

สิ่งที่แยก cleanroom ที่เสถียรออกจากห้องที่กําลังถูกแก้ไขอยู่เสมอคือเอกสาร: แท็ก, คลาส, วันที่ติดตั้ง และค่าความต้านทานพื้นฐานสําหรับแต่ละตําแหน่ง ระบบตรวจสอบช่วยให้การติดตามง่ายขึ้น แต่ baseline ยังคงถูกบันทึกโดยบุคคลที่มีเกจวัดในวันติดตั้ง

ตําแหน่งที่ RZJ อยู่ในภาพ

RZJ สร้างขั้นตอนที่ประกอบเป็นระบบกรองอากาศในห้องปลอดเชื้อ — ตัวกรองล่วงหน้า F9 ตัวกรองถุงประสิทธิภาพปานกลาง, HEPA แบบแบ่งส่วนและไม่แบ่งส่วน, องค์ประกอบ ULPA, ตัวกรองเคมี และหน่วยกรองพัดลม EC และ AC การผลิตข้ามสายโซ่ช่วยให้เราสามารถกําหนดขนาดขั้นตอนให้เทียบกันได้ แทนที่จะขายแยกแต่ละขั้นตอน และจัดส่งตามแบบร่าง: ขนาดโครง, ชนิดปะเก็น, หน้าแปลน และรายละเอียดการติดตั้ง ถ้ามีแบบแปลนการไหลของอากาศแต่ตารางการกรองไม่มี นั่นคือเวลาที่เหมาะสมในการพูดคุย