ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ Clean Air Total Solution

ไมโครอิเล็กทรอนิกส์ Clean Air Total Solution

 
Overall microelectronics solution

โซลูชันไมโครอิเล็กทรอนิกส์โดยรวม

ด้วยการเปลี่ยนแปลงที่ประสบความสําเร็จของจีนจาก "ยักษ์ใหญ่ด้านการผลิต" เป็น "ยักษ์ใหญ่ด้านการผลิตที่มีคุณภาพ" จึงมีองค์กรการผลิตไฮเทคที่มีชื่อเสียงจํานวนมากเกิดขึ้นในประเทศ และโครงการไฮเทคจํานวนมากก็ได้รับการดําเนินการและดําเนินการในหลายที่ทั่วประเทศ

เมื่อไม่นานมานี้โรงงานเวเฟอร์ขนาด 12 นิ้วที่เพิ่งสร้างขึ้นในประเทศจีนจะมุ่งเน้นไปที่การวิจัยและพัฒนาเทคโนโลยีกระบวนการ 19nm สําหรับการผลิต DRAM (Dynamic Random Access Memory) หลังจากโครงการเริ่มดําเนินการกําลังการผลิตสูงสุดต่อเดือนจะสูงถึง 125,000 เวเฟอร์ ซึ่งช่วยเติมเต็มช่องว่างในอุตสาหกรรมการผลิต DRAM ระดับไฮเอนด์ของจีนได้อย่างมีประสิทธิภาพ และครอบครองตําแหน่งในบรรดาผู้ผลิต DRAM ทั่วโลก

 

 

 
Safeguard the "Chinese chip"

ปกป้อง "ชิปจีน"

การว่าจ้างโครงการนี้จะขับเคลื่อนการพัฒนาที่ครอบคลุมของภูมิภาคสามเหลี่ยมปากแม่น้ําเพิร์ลทั้งหมด รวมถึงอุปกรณ์ วัสดุ อาคารผู้โดยสาร และด้านอื่นๆ อาจกล่าวได้ว่าการว่าจ้างโรงงานผลิตเวเฟอร์แห่งนี้จะช่วยเร่งการเปลี่ยนแปลงและยกระดับอุตสาหกรรมในเหอเฟย

มีรายงานว่าภายในปี 2025 จีนจะดําเนินการโครงการเวเฟอร์ขนาด 25 นิ้วประมาณ 12 โครงการ ทําลายระบบการผูกขาดอุตสาหกรรมของบริษัทต่างชาติในจังหวะเดียว

 
 
 
 
 
Problems and difficulties

ปัญหาและความยากลําบาก

นอกจากนี้ยังพบปัญหาบางอย่างในระหว่างการก่อสร้างโรงงานและการจัดหาอุปกรณ์ จากมุมมองทางเทคนิคเมื่อใช้เทคโนโลยีกระบวนการ 19nm เพื่อผลิต DRAM พื้นที่การพิมพ์หินแสงสีเหลืองภายใต้กระบวนการนี้จะไวต่อก๊าซ AMC อย่างมาก แม้แต่การเบี่ยงเบนเล็กน้อยในคุณภาพอากาศบริสุทธิ์ในพื้นที่ทํางานก็ส่งผลโดยตรงต่ออัตราผลผลิตขั้นสุดท้าย ดังนั้นค่าความเข้มข้นของสภาพแวดล้อมกระบวนการ AMC จึงต้องได้รับการควบคุมอย่างเข้มงวดตลอดกระบวนการผลิตทั้งหมด

 
 
 
 
Final solution

วิธีแก้ปัญหาขั้นสุดท้าย

ในฐานะหนึ่งในผู้นําระดับโลกด้านโซลูชั่นอากาศบริสุทธิ์ RZJ มุ่งมั่นที่จะพัฒนาโซลูชันการกรองที่มีประสิทธิภาพสูงและประหยัดพลังงานสําหรับอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์มาเกือบศตวรรษ รวมถึงฝุ่นละอองและการกรอง AMC ผลิตภัณฑ์เต็มรูปแบบครอบคลุมตัวกรองอากาศหยาบปานกลางและประสิทธิภาพสูงตัวกรองสารเคมีตัวกรองในครัวเรือนเครื่องดูดควันแบบลามินาร์และอุปกรณ์ทําให้บริสุทธิ์อื่น ๆ เพื่อตอบสนองความต้องการของกระบวนการตกผลึกระดับสูงและซับซ้อนนี้ AAF ได้นําโซลูชันการบําบัดก๊าซเคมีแบบโหลด FFU มาใช้ ตัวกรองเคมีสองตัวถูกซ้อนทับไว้ที่ด้านบนของ FFU และมีการทดสอบการสุ่มตัวอย่างในสถานที่ของ AMC เพื่อดึงและจัดระเบียบข้อมูลคุณภาพอากาศในสภาพแวดล้อมจริงอย่างรวดเร็วและแม่นยําและด้วยเหตุนี้จึงมีการกําหนดวิธีแก้ปัญหาที่สมเหตุสมผล

 

 

 
Strict quality control and a complete testing system

การควบคุมคุณภาพอย่างเข้มงวดและระบบการทดสอบที่สมบูรณ์

ตลอดมา RZJ ถือเป็นความรับผิดชอบในการปกป้องสิ่งแวดล้อมลดความเสี่ยงขององค์กรและลดค่าใช้จ่ายในการฟอกอากาศ การแสวงหาความเป็นเลิศในผลิตภัณฑ์ของตนก็เกิดจากการปฏิบัติของตัวเองเช่นกัน AAF เองมีห้องปลอดเชื้อ PTFE ระดับ 10,000 เกรดความสะอาดสูง ห้องปลอดเชื้อตัวกรองประสิทธิภาพสูง ห้องปลอดเชื้อ FFU และสายการผลิตตัวกรองอุตสาหกรรมและเชิงพาณิชย์ RZJ มีสิ่งอํานวยความสะดวกขั้นสูง การผลิตดําเนินการด้วยกระบวนการผลิตที่ได้มาตรฐานและมาตรฐานคุณภาพที่เข้มงวด

นอกจากนี้ RZJ ยังมีระบบการทดสอบที่สมบูรณ์ ตั้งแต่ตัวกรองหยาบ ปานกลาง และประสิทธิภาพสูงไปจนถึงตัวกรองที่มีประสิทธิภาพสูงและประสิทธิภาพสูงพิเศษ ตลอดจนอุปกรณ์การกรอง RZJ ดําเนินการทดสอบประสิทธิภาพรอบด้านกับผลิตภัณฑ์ตามมาตรฐานการทดสอบขั้นสูงของอุตสาหกรรม

 

 

 

จากมุมมองการผลิตกระบวนการผลิตผลิตภัณฑ์ไมโครอิเล็กทรอนิกส์มีความซับซ้อนและมีจํานวนมากและกระบวนการสําคัญหลายอย่างจําเป็นต้องดําเนินการในสภาพแวดล้อมที่ปราศจากฝุ่นโดยมีอุณหภูมิความชื้นและความสะอาดเป็นพิเศษคงที่ อุปกรณ์การผลิตขนาดใหญ่และขนาดกลางแบบชิ้นส่วนเดียวจะปล่อยฝุ่นละอองและสารเคมีที่มีความเข้มข้นสูง ซึ่งจะทําให้ผลผลิตของผลิตภัณฑ์ที่ผลิตลดลงและนํามาซึ่งอันตรายด้านความปลอดภัยอื่นๆ ในเวลาเดียวกัน ดังนั้นอุตสาหกรรมไมโครอิเล็กทรอนิกส์จึงมีข้อกําหนดและมาตรฐานทางเทคนิคที่สูงมากสําหรับการออกแบบและผลความสะอาดของห้องปลอดเชื้ออุตสาหกรรมในระหว่างกระบวนการผลิต

ระบบการจําแนกประเภท SEMI F21-1102 สําหรับสารมลพิษที่เป็นก๊าซสี่ประเภท

การจําแนกประเภท AMC

เกรดความเข้มข้น

 

1pptM

10pptM

100pptM

1000pptM

10000pptM

กรด

แมสซา-1

MA-10

เอ็มเอ-100

เอ็มเอ-1000

เอ็มเอ-100

ด่าง

เอ็มบี-1

เอ็มบี-10

เอ็มบี-100

เอ็มบี-1000

เอ็มบี-10000

คอนเดนเสท

เอ็มซี-1

เอ็มซี-10

เอ็มซี-100

เอ็มซี-1000

เอ็มซี-10000

โดแพนท์

เอ็มดี-1

เอ็มดี-10

เอ็มดี-100

เอ็มดี-1000

เอ็มดี-10000

หน่วยความเข้มข้นคือ pptM (ส่วนในล้านล้านโมดอล) 10-12 ล้านล้านโมล


คู่ ค้า:

หูเป่ย์ Suizhou Polysilicon Technology Co., Ltd

 

เซินเจิ้น SeG ซัมซุง Co., LTD

 

ซินลี่เซมิคอนดักเตอร์ Co., LTD

 

กลุ่มเทคโนโลยี Foxconn

 

กุ้ยโจว Yunfeng เภสัชกรรม Co., LTD

 

เซินเจิ้น Sanlipu Optoelectronic Technology Co., Ltd

 

 

กว่างโจว Jintian Ruilin อุปกรณ์ทําให้บริสุทธิ์ผลิต Co., Ltd


 

 

ตงกวน Chuanyue บรรจุภัณฑ์ Co., LTD