1. AMC- สมาคมเทคโนโลยีและวัสดุเซมิคอนดักเตอร์นานาชาติ SEMI
ในฐานะสมาชิกที่สําคัญในด้านตัวกรองตัวกรองสารเคมีมีบทบาทสําคัญเนื่องจากความเป็นมืออาชีพและความเฉพาะเจาะจง คุณสมบัติหลัก ได้แก่ การกรองที่มีประสิทธิภาพสูง, ความต้านทานการกัดกร่อนที่อุณหภูมิสูง, วัสดุกรองที่หลากหลายให้เลือก, การติดตั้งและบํารุงรักษาที่สะดวก และความชาญฉลาด ฯลฯ
ตัวกรองเคมีเป็นผู้ช่วยที่สําคัญที่สุดในโซลูชันสําหรับการควบคุมมลพิษที่เป็นก๊าซ AMC สามารถจําแนกได้อีกสี่ประเภท: MA, MB, MC และ MD MA เป็นสารกัดกร่อน และลักษณะปฏิกิริยาเคมีของมันคือตัวรับอิเล็กตรอน โดยปกติจะรวมถึงกรดไฮโดรฟลูออริกก๊าซคลอรีนกรดซัลฟิวริกและสารอื่น ๆ ที่หลบหนีในระหว่างกระบวนการโฟโตลิโธกราฟีและการแกะสลัก
MB เป็นสารกัดกร่อน และลักษณะปฏิกิริยาเคมีของมันคือผู้บริจาคอิเล็กตรอน รวมถึง NH3 และเอมีน โดยทั่วไป MC หมายถึงสารประกอบอินทรีย์ที่มีจุดเดือดมากกว่า 150°C ภายใต้ความดันปกติ และมีแนวโน้มที่จะควบแน่นลงบนพื้นผิวของวัตถุ MD หมายถึงองค์ประกอบทางเคมีที่สามารถเปลี่ยนแปลงการนําไฟฟ้าของวัสดุเซมิคอนดักเตอร์ได้
2、ตําแหน่งการติดตั้งตัวกรองสารเคมีต้องคํานึงถึงสถานการณ์การใช้งานเฉพาะ ข้อควรพิจารณาหลัก ได้แก่ แหล่งที่มาของมลพิษ ประสิทธิภาพการบําบัด และการออกแบบระบบ เป็นต้น โดยปกติจะติดตั้งในระบบต่างๆ เช่น กล่องปรับอากาศบริสุทธิ์ กล่องปรับอากาศหมุนเวียน ชุดกรองพัดลม และปลายสภาพแวดล้อมขนาดเล็ก
3、การควบคุม AMC สามารถทําได้โดยใช้ระบบกรองอากาศเฟสแก๊ส ซึ่งใช้สื่อการอบแห้งและทําให้บริสุทธิ์อย่างน้อยหนึ่งชนิด การเลือกวัสดุกรองสารเคมีในระบบนี้โดดเด่นด้วยความหลากหลายและความชาญฉลาดทําให้ผู้ใช้มีตัวเลือกที่ตรงเป้าหมายมากขึ้น
4、ตัวกรองสารเคมีใช้กันอย่างแพร่หลายในกระบวนการผลิตทางอุตสาหกรรม เช่น การชุบด้วยไฟฟ้า การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ การดูแลทางการแพทย์ ห้องปฏิบัติการ และการรักษาเพื่อปกป้องสิ่งแวดล้อม พวกเขารับประกันความปลอดภัยของสภาพแวดล้อมการผลิตโดยการดูดซับและทําให้ก๊าซที่เป็นกรด/ด่างเป็นกลางและก๊าซเสียอินทรีย์
