ไดนามิกภายใน

การจําแนกประเภทของ AMC โดยสมาคมอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ระหว่างประเทศ (SEMI)

SEMI F21-1016 การจําแนกระดับมลพิษระดับโมเลกุลในอากาศในสภาพแวดล้อมที่สะอาด

อันตรายของ AMC

1.  การก่อตัวของฟิล์มก๊าซเคมีบนพื้นผิว  ความสะอาดของพื้นผิวซิลิกอน ความสะอาดของพื้นผิวแก้ว พื้นผิวเลนส์ออปติคัล พื้นผิวโลหะ พื้นผิวพลาสติก
2.  การเปลี่ยนแปลงคุณสมบัติพื้นผิว คุณสมบัติทางเคมี (เช่น การกัดกร่อนของโลหะ) คุณสมบัติทางไฟฟ้า (เช่น การฝังไอออน) คุณสมบัติทางกายภาพ (เช่น การดัดแปลงพื้นผิว การสร้างประจุไฟฟ้าสถิต) คุณสมบัติทางแสง (เช่น การเปลี่ยนแปลงความต้านทานแสง ผลผลิตโฟโตลิโธกราฟี) 
3.  การก่อตัวของฝุ่นละออง "หมอก" NH3 + SO2 → เกลือ  ก๊าซอัลคาไลน์ + ก๊าซกรด → เกลือ
4.  ข้อกําหนด EHS สําหรับสภาพแวดล้อมในห้องปลอดเชื้อ (VOCs, ก๊าซกรด) เป็นอันตรายต่อสุขภาพและความเป็นอยู่ที่ดีของพนักงาน